技术编号：6975112
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种硅制高压功率金属氧化物半导体器件，更准确的讲，涉及一 种硅制高压超结纵向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管。背景技术目前，功率器件在日常生活、生产等领域的应用越来越广泛，特别是功率金属氧化 物半导体场效应晶体管，由于它们拥有较快的开关速度、较小的驱动电流、较宽的安全工作 区，因此受到了众多研究者们的青睐。如今，功率器件正向着提高工作电压、增大工作电流、 减小导通电阻和集成化的方向快速发展。在众多的功率金属氧化物半导体场效应晶体管器 件中，...
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