技术编号：6977848
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的背景本发明的领域本发明涉及半导体装置领域。更具体来说，本发明涉及波长可调半导体垂直腔体面发射激光器(VCSEL)。相关技术的描述波长可调半导体激光器在波长分割多路复用传输系统，波长分割交换系统，波长交叉连接系统以及光学测量领域起到重要作用。这一领域中先有技术包括，使用装置的相同波导结构不同部分的远波长可调边缘发射激光器(M，Yamaguchi et al.，U.S.Patent No.5,541,945)。对于边缘和面发射激光器两者达到波长可调性的...
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