使用基于锌、硅和氧的接合层的接合方法及相应的结构体的制作方法技术资料下载

技术编号:6989337

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本发明的各种实施方式总体上涉及用于制造半导体结构体的方法和结构体,更具体而言涉及在半导体结构体的制造中用于形成使两个以上的元件彼此连接的接合(bonding)层的方法和结构体。背景技术通过使两个以上的元件彼此连接以制造所需要的结构体来制造多种半导体结构体。这些连接方法可以在通过诸如直接生长或沉积等传统方式不容易制得包含所需结构体的元件时进行使用。两个以上元件的连接通常采用接合技术进行。这类接合技术包括通常被称作如分子接合、熔融接合、金属接合、粘接剂接合、焊...
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