技术编号：6991731
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及微型机电系统(MEMS)器件和方法。更具体地，本发明涉及三层横梁MEMS器件和相关方法。背景技术 静电MEMS开关是一种由静电操作并且利用微型机电系统(MEMS)技术制造的开关。MEMS开关可以控制电、机械或者光信号流。MEMS开关具有用于电讯的典型应用，例如DSL开关矩阵和蜂窝电话、自动测试设备(ATE)以及需要低成本开关或者低成本、高密度阵列的其它系统。如本领域技术人员可以理解的，许多类型的MEMS开关和相关器件可以通过体或者表面微机械加...
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