技术编号：6994044
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及例如用于控制高频信号的接触开关。 背景技术近年来随着集成技术的进步，对于电子装置尺寸减小、重量减轻、低操作电压、低 功耗以及高频率运行得以迅速地推进。特别是，在诸如移动电话的移动通讯终端装置的技 术领域中，除了上述严格要求的需要外，还需要高性能，并且MEMS (微机电系统)作为解决 这些矛盾问题的技术之一已经引起人们的注意。MEMS是通过硅工艺技术融合微机械部件和 电子电路部件的系统。MEMS技术具有诸如精确加工的优良特性，能够实现紧凑和降低成本...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。