技术编号:6996726
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有MOS晶体管和多晶硅电容元件的。 背景技术作为制造至少具有MOS晶体管和电容元件作为基本元件的半导体基板上的半导体电路装置的方法,主要采取了以下两种方法。作为方法(A),可举出使用半导体基板作为下部电极、使用多晶硅作为上部电极的方法。此时,通过使上部电极的多晶硅与MOS晶体管的栅电极共用、使电容膜(被两个导体夹着的绝缘体、或电介质)与栅绝缘膜共用,由此,基本上无需追加工序即可在具有MOS晶体管的半导体电路装置中附加电容元件。作为方法(B),可...
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