技术编号:6999594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜图形的激光转移方法,具体涉及一种,属于薄膜器件及电路制造。背景技术薄膜材料可以用于制作电子封装领域中的薄膜器件、电路等。其特点是要求制作精度高,薄膜图形的线宽和间距需达到微米级,甚至更高的精度。由薄膜图形所构成的薄膜器件、电路可以包括导体、电阻、电容、电感和光电子器件等,在一些特定的应用中,薄膜图形或器件还需被制成多层薄膜结构。薄膜器件、电路由于具有高互连密度、高集成度、体积小、重量轻等特点,尤其符合电子器件及组件向高密度化、轻量化发展的...
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