技术编号:7010263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种相变存储单元,包括衬底、下电极金属层、第一绝缘层、加热材料层、第二绝缘层、下相变材料层、上相变材料层和上电极金属层,还包括阻挡层,所述阻挡层设置于所述下相变材料层和所述上相变材料层之间,所述阻挡层的材料为Nb2O5,本发明提供的相变存储单元,在两层相变材料中加入阻挡层,通过控制阻挡层材料的性质及厚度,减小了操作电流,尤其减小多晶向非晶转化时的操作电流,实现了1D1R高密度集成,减小器件的功耗。另外,本发明还提供了一种相变存储单元的制备方法。...
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