技术编号：7012530
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及CIGS太阳能电池的吸收层，具体说是薄膜太阳能电池CIGS吸收层的硒化方法，其包括制备硒蒸气、通过输送带将吸收层衬底输送至预热区预热、经预热的衬底输送至具有惰性气体保护的硒化区，同时将硒蒸气导入硒化区，向移动的衬底上喷射硒蒸气、喷涂有硒的衬底在硒化区反应、反应完成后，由输送带将衬底输送至冷却区进行冷却，然后将其输出。本发明采用向移动的衬底喷射硒蒸气的方式，不仅喷涂均匀，提高成膜均匀性；硒蒸气通过裂解后，再进行喷涂，提高了硒蒸气的活性，进而提高了成...
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