技术编号：7016937
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种托盘及芯片烘烤系统，通过在烘箱的底板及托板上设置挡块，使得所述挡块与侧板、或者所述挡块与挡块构成容置格；并使得托盘的底壁的宽度与所述容置格的宽度匹配，由此通过机械结构便可将与所述容置格不匹配的托盘检测出来，从而可通过一种低廉的方式防止误操作。专利说明托盘及芯片烘烤系统[0001]本实用新型涉及集成电路芯片制造设备，特别涉及一种烘箱、托盘、芯片盘及芯片烘烤系统。背景技术[0002]在集成电路芯片的制造/使用过程中，常常需要对芯片执行烘烤工...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。