技术编号:7030485
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体涉及片状晶圆(sheet wafer),并且更具体地,本发明涉及片状晶圆的制造。背景技术硅晶圆是诸如太阳能电池、集成电路以及MEMS器件的多种半导体器件的构造块。例如,Marlboro Massachusetts的Evergreen Solar公司从通过使两条细丝通过娃溶融体的坩埚而制造的硅片状晶圆形成太阳能电池。硅片的连续生长消除了对于使切割批量生产的硅以形成晶圆的需要。通过坩埚(crucible)的底部向上引入高温材料的两条细丝,其中,坩埚包...
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