技术编号：7033856
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种用于硅片扩散和氧化的石英舟，包括左支撑板和右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有支撑柱和限位柱，支撑柱和限位柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；所述支撑柱和限位柱上的卡槽均为V型卡槽。本实用新型通过设置V型卡槽，改变了硅片与石英舟的接触方式，仅使硅片的侧边与石英舟线接触，而硅片的表面不与石英舟面接触，从而解决了在扩散过程中因硅片表面与石英舟相接触而造成的掺杂浓度、磷硅玻璃层和氧化层的...
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