技术编号:7035947
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。嵌入式晶体管本发明一般地涉及半导体领域,更具体地来说,涉及嵌入式晶体管。背景技术通常,互补金属氧化物半导体(CMOS)晶体管包括栅电极和栅极介电层,该栅电极和栅极介电层形成在衬底(通常为硅半导体衬底)上方。通过向衬底注入N型或P型杂质,在栅电极的相对侧形成轻掺杂漏极。氧化物衬垫和一个或多个注入掩模(通常被称为隔离件)形成为与栅电极相邻,并实施额外的注入以完成源极区域/漏极区域。然后,流过源极区域/漏极区域的电流可以通过控制施加给栅电极的电压电平来控制。CM...
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