技术编号：7037763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。根据本发明的实施方式，一种基板处理装置包括腔室，该腔室提供内部空间，在该内部空间中执行对于基板的处理；加热板，该加热板被固定到腔室中，基板放置在加热板的上部；加热器，该加热器设置为与加热板的下部隔开，以加热加热板；以及提升模块，该提升模块对加热器进行提升。专利说明加热器可提升型基板处理装置 [0001]本说明书中公开的本发明涉及基板处理装置，并且具体地，涉及提升(lift)加热器来控制基板温度的基板处理装置。 背景技术 [0002]通常选择性外延...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。