技术编号：7048946
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，通过在通常的铝刻蚀工艺之前，在干法刻蚀机台内增加一道针对晶圆边缘的晶边部位存在的前层工序中的膜堆积残留物的干法刻蚀处理工艺，将刻蚀工艺细分为三个工艺阶段，在不同工艺条件下，通入不同的混合反应气体，对晶圆晶边的一定区域进行选择性刻蚀处理，预先去除了晶圆晶边部位的膜堆积残留物，从而避免了在之后通常的铝刻蚀时发生因前层工序中的膜堆积残留物没法完全去除，而造成晶圆晶边颗粒残留的现象，解决了对后续湿法清洗带来的交叉污染问题，降低了颗粒的整体水平，并由此...
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