技术编号：7052688
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及导电薄膜领域，尤其涉及一种卤素掺杂AZO导电膜及其制备方法。背景技术透明导电薄膜电极，是有机电致发光器件(OLED)的基础构件，其性能的优劣直接影响着整个器件的发光效率。其中，氧化铟锡(ITO)是最常用的透明导电薄膜材料，具有较高的可见光透光率和低的电阻率。而氧化铝锌(AZO)材料是研究最热门的ITO替代材料，原料廉价，无毒环保，具有良好的光电性能。目前，AZO的导电性和透光性能已经接近ΙΤ0，逐渐进入商品化的阶段。但是要在OLED器件中作为阳极...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。