技术编号:7054812
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过由电晕放电生成的离子化空气将通过静电而带电的对象物除电的背景技术在进行半导体基板等电子部件的制造及组装时,如果使电子部件或用于对其进行处理的器件等带静电,则有时灰尘等异物附着于电子部件上,或因放电而将电子部件内的电路破坏。为防止该情況,目前正在使用通过对由静电带电的对象物吹附离子化空气而将对象物除电的称作“静电除电器”的除电装置(參照专利文献I 4)。为生成离子化空气,通常利用直流或交流的电晕放电。通过电晕放电生成的离子化空气通常通过压缩空气...
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