一种全局曝光像素单元中防漏光存储电容及其形成方法技术资料下载

技术编号:7058659

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本发明公开了一种全局曝光像素单元中防漏光存储电容,包括不透光的上下极板和中间的介质层,所述电容极板侧壁覆盖有不透光的隔断结构。本发明还公开这种全局曝光像素单元中防漏光存储电容的形成方法,具体步骤包括,生长衬垫层,淀积金属或金属化合物,光刻刻蚀在电容极板侧壁形成可以阻挡入射光线穿透的隔断结构,淀积边墙介质并刻蚀形成边墙。本发明通过内嵌金属层的边墙结构有效阻挡入射光线的穿透,避免由此造成的存储电容中存储电荷的失真,减少噪点,提高输出图像信号的正确率,适用于4T...
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