技术编号:7060753
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种简易制备N型石墨烯场效应管的方法。以化学氧化制备的氧化石墨烯为原料,包括将氧化石墨烯片在基底上旋涂成薄膜,通过光照实现氮掺杂石墨烯的方法。将氟化石墨烯薄膜在NH3气(流量为10torr~30torr)氛围下,通过使用65到75mJ/cm2能量的激光或汞灯能选择的区域位置进行光照,光照时间在5~60分钟范围内,通过光照同时实现还原和氮原子的掺杂。本发明操作方便、成本低、能大批量制备,本发明通过光照时间、强度和掺氟浓度,以达到调控氮掺杂含量、石...
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