技术编号：7064781
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种具有镂空结构的LED外延结构及其制作方法，该LED外延结构包括衬底；位于衬底上的AlN层，所述AlN层包括若干分离设置且阵列排布的AlN柱状结构；位于AlN层上的第一GaN层，所述第一GaN层由若干沿AlN柱状结构向上延伸形成的GaN结构组成；位于第一GaN层上方的第二GaN层，所述第二GaN层覆盖于所有第一GaN层中的GaN结构上；其中，所述第一GaN层或第一GaN层与第二GaN层在衬底上方形成镂空结构。本发明在蓝宝石衬底上制作AlN图形...
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