技术编号：7072715
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种半导体装置，降低了导通电阻且减小了反馈电容Crss。该半导体装置具有第1导电型的集电层；第2导电型的漂移层，其配置在所述集电层上；第2导电型的夹层，其杂质浓度高于所述漂移层，并与所述漂移层接触而配置在所述漂移层上；第1导电型的基层，其配置在所述夹层上；第2导电型的发射区，其嵌入在所述基层的上表面的一部分中；槽，其在所述基层的表面具有开口部，且具有从所述基层的表面起至少贯通所述基层的深度；绝缘膜，其配置在所述槽的内壁上；以及控制电极，其隔着...
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