技术编号：7087610
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种晶圆通用提篮装置，包括提篮及载盘。提篮包含两侧板及两支撑架，两侧板各设有夹取部，两支撑架分置于上、下两层，两支撑架各具有两连接杆及连接于两连接杆之间的一间隔杆，连接杆的两端分别连接于两侧板。载盘的底部设有两凹沟，载盘上设有容置空间及承接部，用于放置及承接晶圆匣，载盘置于支撑架上，载盘底部的凹沟与支撑架的连接杆卡接配合。由此，可通过载盘的拆换，而通用于2吋、4吋或6吋等规格之晶圆匣。专利说明晶圆通用提篮装置 [0001]本实用新型涉及一种晶圆通用提...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。