技术编号：7088606
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种接触孔偏移量测结构，其至少包括半导体衬底；位于所述半导体衬底内的阱区；位于所述阱区内相互平行的第一有源区和第二有源区；位于所述第一有源区和所述第二有源区上的等间距排布的栅桥；位于所述第一有源区上的第一接触孔图形，所述第一接触孔图形包括以等间距排布的第一接触孔组；以及位于所述第二有源区上的第二接触孔图形，所述第二接触孔图形包括以等间距排布的第二接触孔组；其中，各第二接触孔组之间的间距大于各栅桥之间的间距，所述第二接触孔组与所述栅桥交错间隔分...
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