技术编号：7095344
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型创造提供一种硅片表面金属离子测试装置，包括提取装置、旋转工作台和控制装置，所述提取装置包括真空泵、真空管和提取枪，所述提取枪包括通过管路连接的扫描液存放腔和工作室，所述扫描液存放腔位于所述工作室上方，所述真空泵通过真空管与所述扫描液存放腔相连，所述旋转工作台位于所述工作室下方，且所述旋转工作台与所述控制装置连接。硅片表面金属离子测试装置，实现了硅片的自动扫描的同时，实现了硅片边缘表面的扫描，使得硅片表面金属离子的提取更加方便，同时减少了人为操作引...
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