技术编号：7095885
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用来检查包括半导体表面和半导体材料在内的表面和材料的方法和 系统。更为具体而言，本发明涉及利用振动式和非振动式接触电势差传感器检测并测量 表面或亚表面的非均勻性和/或电荷的方法，从而在整个表面上建立任何非均勻性的精 确存在关系。背景技术半导体设备的功能、可靠性和性能取决于使用清洁且均勻的半导体材料和表 面。数亿资金和无数人工已经花费在研发、表征并优化用来制造和处理半导体材料的系 统和工艺。这些工作的首要目的是制造极其清洁的材料和表面，这些材料和表...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。