技术编号：7097182
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统，包括制绒槽，制绒槽内设有至少三个反应道，反应道内由上往下依次设有位于制绒槽内药液液位下方的压轮与滚轮，硅片在滚轮和压轮之间移动并制绒；还包括储液槽，储液槽通过输液管将储液槽内的药液输送到制绒槽内，位于制绒槽内的输液管上设有若干喷孔，制绒槽通过溢流管以及回流管将制绒槽内的药液输送到储液槽内，储液槽内的药液通过热交换毛细管与一冰机形成热交换，位于制绒槽两端的反应道之间的其他每条反应道上各设有一喷淋装置。其有益效果有利...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。