技术编号：7098364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体制造，尤其涉及一种同时具有低压器件和耐高压器件的。背景技术传统的Bipolar (双极)工艺平台分类，一般以该工艺平台制造出来的标准NPN晶体管可承受的最大工作电压来制定；标准NPN晶体管的最大工作电压由集电区(C极)到发射区(E极)的耐压(即CE耐压)决定，CE耐压主要由外延厚度及电阻率决定，基区浓度及结深也会影响；外延厚度决定了隔离规则及工艺，而隔离规则及工艺又决定了版图面积；所以Bipolar低压工艺平台，对应外延厚度薄，隔离间距...
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