技术编号:7109308
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件制造领域,具体涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、有源矩阵驱动显示装置。背景技术半导体产业是当今信息化社会的支柱产业,而其中起放大以及开关作用的晶体管具有极为重要的地位。上个世纪,以硅基晶体管为代表的金属-氧化物-半导体晶体管(MOS)极大地推动了场效应晶体管的产业化进展。英国曼彻斯特大学Geim教授2004年发现的石墨烯(Graphene)是一种由单层碳原子紧密堆积成二维蜂窝状结构的碳质新材料。石墨烯的室温本征电子迁移率可达200...
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