技术编号：7110232
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。注意，本说明书中的半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置，电光装置、半导体电路以及电子设备都是半导体装置。背景技术通过利用形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体薄膜来形成晶体管(也称为薄膜晶体管TFT))的技术引人注目。该晶体管被广泛地应用于如集成电路(IC)或图像显示装置(显示装置)等的电子设备。作为可以应用于晶体管的半导体薄膜，硅类半导体材料被广泛地周知。此外，作为其他材料氧化物半导体受到关注。例如，已经公开了一种使用包含铟(...
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