技术编号:7119081
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种具有可调式引导单元的晶片输送装置,可延长引导单元的使用期限,并有利于降低晶片输送装置的使用成本。背景技术在晶片的制作或检测的过程中免不了要对晶片进行输送,晶片的结构较为轻、薄且脆。当晶片输送的过程中与输送机台接触,便容易导致晶片本身的结构出现损伤,例如出现破损、缺角或是肉眼无法辨识的裂痕,此外在长时间的使用下也会造成机台的磨损。请参阅图I,为现有晶片输送机台的俯视图。如图所示,晶片输送机台10包括有一第一输送单兀11及一第二输送单兀13,...
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