技术编号:7121289
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种太阳能电池扩散用石英舟。背景技术太阳能电池生产工艺流程中,扩散工艺过程形成PN结,是太阳能电池的“心脏”,此工艺过程需要高的洁净度和长时间的高温通源过程。双面扩散(即每个槽插一片硅片)能够起到很好的吸杂效果,从而提高电池转换效率,但是双面扩散相对于单面扩散会降低一半的产量。如果将槽间距减小一半,在保证产量不变的情况下使用双面扩散,扩散出来的方块电阻的均匀性又很难控制,也会影响电池的转换效率。传统的扩散用石英舟采用的是大小相同的槽间距,如果...
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