技术编号：7123536
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及到一种太阳能电池生产设备，尤其涉及到一种能防金属离子污染的硅片烘干炉。背景技术目前的太阳能电池的转换效率不断提升，在太阳能电池生产过程中，选择性扩散工艺已经成为电池生产厂家重点研发领域，在各种实现选择性扩散的工艺路线中，采用印刷磷源的一次扩散方法以低成本、易批量生产最受关注，印刷完成的硅片需在烘干炉内进行烘干作业，中国专利号为ZL200620073300.3的、名称为太阳能电池基板烘干炉的实用新型专利，公开了一种太阳能电池基板烘干炉，用于将经...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。