制造带有纳米点的存储器的方法技术资料下载

技术编号:7136173

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本发明涉及一种制造带有纳米点(nano dot)的存储器的方法,更具体来讲,本发明涉及利用自对准方式。背景技术 目前,很多工作和努力被投入到对纳米尺度器件的研究中,这些器件被包括在诸如存储器、激光二极管(LD)、光电二极管、晶体管、远紫外探测器、太阳能电池、以及光调制器的装置中。纳米器件中所俘获的电子数取决于纳米点的尺寸。相比于常规的器件,仅用很少的电子就能驱动纳米器件,这样就可降低阈值电流。因而,可用低电压来驱动纳米器件,且低电压就能产生很高的输出。通常...
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