技术编号：7142909
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种例如在半导体元件等的制造过程中，检查基板表面的不均匀、损伤等缺陷的缺陷检查装置、缺陷检查方法，以及接触孔(contact hole)等孔图形的检查方法。背景技术 在半导体器件和液晶基板的制造中，反复进行形成各种不同的电路图形，并将它们重叠成数层的作业。形成各电路图形的工序的概要是，将光致抗蚀剂涂覆在基板表面上，利用曝光装置在光致抗蚀剂上烧出分度线和掩模上的电路图形，通过显影形成光致抗蚀剂构成的电路图形之后，通过蚀刻等形成元件的各部分。在形成光...
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