技术编号：7144809
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管及其制造方法、以及使用了薄膜晶体管的有源矩阵型的显示装置、溅射靶材。背景技术近年来，在将薄膜晶体管(TFT =Thin Film Transistor)用于像素电路的有源矩阵型显示装置中，要求其大型化、像素的高精细化、帧频率的倍增引起的动画性能的提高，还要求民生用3D显示装置的画质提高等。另一方面，显示装置的价格以超预期的速度继续下降，能源资源及稀有金属等价格高涨等推高制造成本的主要原因也继续增大。因此，当务之急是开发用于进一步降低制造...
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