技术编号：7146705
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光领域，特别涉及一种腔外四倍频紫外激光器。背景技术由于紫外激光具有高分辩和材料强吸收等特点，近些年在国际上迅速发展。波长为355nm的Nd YV04Nd YAG激光加工机已主导了精细加工，特别是多层、高密度印刷电路板的精密打孔设备市场，在特种材料加工、集成电路分析等应用上，也显示出巨大优势。然而波长更短的四次谐波紫外激光(如266nm)相对于三次谐波(如355nm)的紫外激光器具有更加明显的优势，如具有高的光子能量，更加优良的材料吸收特性和更好...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。