技术编号：7146852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种向半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩模用玻璃基板、光盘用基板、陶瓷板等(以下仅称为“基板”)喷出清洗液液滴进行清洗的及基板清洗装置。背景技术一直以来，在半导体基板等的制造工艺中，除去附着在基板上的颗粒的清洗工序是不可或缺的。实施清洗工序的单张式清洗装置采用向基板喷射纯水等清洗液的微小液滴 来清洗基板的技术。在这样的清洗装置中，如专利文献I所公开那样，广泛使用双流体喷嘴，所述双流体喷嘴混合清洗液与加压后的气体来生成液滴，并向基板喷射所述液...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。