技术编号：7151833
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是涉及在半导体基板上叠层具有浮栅电极及铁电体膜的门电极体的。背景技术 历来，即使断掉电源仍能保持信息的功能，即信息记录的非易失性，通过磁带装置、硬盘装置、光盘装置、或光磁盘装置可实现。针对这些，近几年，通过使用半导体固体元件来实现非易失性的研究很盛行。其中已经实用化的有例如闪存(flash memory)或FeRAM等。这些元件不具有上述磁带装置等必要的可移动机械部分，且因形状小、消费的电力小而受到很大的关注。有关闪存在第1文献(应用物理、第65卷、...
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