技术编号：7157404
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种记录太阳能晶片制程履历的方法及系统，特别是针对串列式连续生产线的制程型态。背景技术近年来，由于环保意识的抬头和其它能源逐渐的枯竭，太阳能电池(solar cell)产业逐渐兴起，而如何提高太阳能电池的光电转换效率，也成为现今研究的焦点。如果能在电池晶片制程中应用先进制程控制(APC)系统，也有利于提高太阳能电池晶片的良率。在传统半导体集成电路的制程型态，如图I所示，每次只将一片晶圆10由晶圆盒I中抽出，再放入腔体11，以在晶圆10上制作元...
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