技术编号：7161462
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，特别涉及一种具有自学(Self-learning)机制的。背景技术 当半导体机台有异常状况发生时，半导体机台会触发(Trigger)一个异常状态，此异常状态可为当机事件(Down Event)，或一个重大警报(Critical Alarm)事件。设备工程师在获悉半导体机台发生异常状态之后，首先必须至计算机整合制造(Computer Integrated Manufacture；CIM)系统的警报子系统中，找出所有相关的警报；或至制造执行子系...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。