技术编号：7162771
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体光电子器件领域，具体地说，涉及一种。背景技术发光二极管是一种半导体固体光源，它具有体积小、低耗能、低电压驱动、响应速度快、寿命长、结构牢固、抗冲击和抗震能力强、有利于环保等众多优点。在照明、显示、指示等方面具有非常广的应用前景，因此LED将成为21世纪替代传统照明器件的新光源。GaN基LED制备经过LED外延片生长，LED芯片制备和LED封装三个主要环节。GaN 材料生长方法有很多，譬如金属有机化学气相外延(M0CVD)、分子束外延(MBE...
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