技术编号：7165948
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种新型基于金属-半导体-金属结构紫外光单光子探测器极其制作方法，同时该结构还适用于其他波段金属-半导体-金属结构单光子探测器。背景技术紫外光特别是日盲紫外波段的探测在空间探测以及军事方面有着极其重要的应用。目前，紫外波段的光子计数系统应用的是光电倍增管(PMT)，但是光电倍增管体积大、 易碎、工作电压高且价格昂贵，所以体积小、价格便宜的固态紫外探测器就有非常重要的优势。目前能够得到的固态紫外光波段单光子探测器为p-n结构或p-i-n结构，这种探...
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