技术编号：7166124
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体光电器件，具体涉及一种以透明导电玻璃为衬底，以钛锆氧化物固溶体(ZrxTihO2)纳米线阵列为基体，以Ag或Au为金属电极的肖特基结构半导体紫外光电探测器及其制备方法。背景技术紫外探测器在国防军事、紫外天文学、燃烧工程、导弹尾焰探测、紫外告警、生物细胞癌变检测以及涡轮引擎燃烧效率监测等方面均有着广泛的应用前景，已经成为世界上许多先进国家研究开发的重点课题之一。而宽禁带半导体基紫外光探测器由于体积小、效率高、成本低、功耗低等优点，在光电探测领...
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