技术编号：7177339
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种排气装置及排气阀，特别是指一种具有单向排气功能的排气装置及其单向排气阀。背景技术于半导体制造产业中，依其制程，大致上可分为晶圆、显影、蚀刻、沉积等多项制程步骤。而于蚀刻步骤中，随着化学药液的使用，多半产生有毒性废气，而所产生的废气将沿着排气管路排出，将其作净化处理后再排放至大气中。而公知的排气装置，请参照图1及图2所示，其为公知技术排气装置的第一示意图及第二示意图。图中，该排气装置1具有一转动杆体11及一逆止阀体12。该转动杆体11 的两端分别可旋转地...
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