技术编号：7181337
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体晶片加工设备，具体为一种砂轮主轴倾角调整结构。(二) 背景技术现有的砂轮主轴倾角调整结构采用三点式调整方法，即分别调整三点高度后定砂轮主轴与水平面的夹角，调整时由于要分别调整三点的高度,调整比较复杂,且由于现有的调整结构是支杆结构，稳定性相对低，其调整的分辨率低，又由于该调整结构一般位于主轴座底部，手动调整不方便。(三) 发明内容 针对上述问题，本发明提供了一种砂轮主轴倾角调整结构，其调整简单、方便，稳定性高，且调整的分辨率高。 其技术方案...
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