技术编号：7181354
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对激光调阻机的改造，具体涉及一种能避免激光调阻机工作中光刻平台撞伤探针事故的保护装置。 背景技术激光调阻机是片式电阻的关键生产设备，它利用激光修调电阻膜宽度调整电阻 值。为了实时测量电阻值，在电阻光刻时，有上百根极细的探针同时下压在电阻基板上，并 施加一定的压力。此时，如果光刻平台发生运动，纤细的探针由于与电阻的强行摩擦，所有 探针会同时弯曲变形而彻底报废，造成探针撞伤事故。由于探针组非常昂贵，此类事故会导 致重大的经济损失。 造成探针撞伤事故的...
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