技术编号:7182671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路装置,特别是,本发明涉及为集成电路装置。背景技术随着半导体装置的高度集成以及尺寸上变得更小,已经研究了形成半导体装置的新方法,并且形成碳纳米管(CNT)是上述方法之一。CNT可以替代半导体装置的金属配线,但是,形成可再现性的CNT结构很不容易。 CNT结构可以通过在形成有催化剂图案的基板上垂直生长CNT而形成。然而,均匀地控制CNT的长度和CNT之间的距离,以及仅在基板的特定部分上生长CNT很不容易。另外,CNT垂直生长不能适合于制造半导...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。