闪存器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:7183787

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本申请涉及一种。背景技术闪存器件是一种非易失性存储器件,即使电源被切断,存储于其中的数据也不会 丢失。此外,闪存器件可以以相对高的速度记录、读取以及删除数据。 闪存器件可以用作个人电脑(PC)、机顶盒、打印机、以及网络服务器的基本输入输 出系统(Bios)以存储数据。目前,闪存器件已经用在数码相机、移动电话和其他便携式电 子产品中。 在闪存器件中,通常使用具有硅_氧化物_氮化物_氧化物_硅(S0N0S)结构的 半导体器件。 与具有包括多晶硅的浮置栅极的闪存...
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