技术编号：7205532
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体处理设备。更具体地，其涉及用于运输和存储半导体晶片的搬运器。背景技术当每单位面积的电路增加时，对于半导体晶片来讲颗粒变得更多。可能会破坏电 路的颗粒的大小已减小且接近于分子水平。在半导体晶片的制造、处理、运输、以及存储的 全部阶段都需要进行颗粒控制。需要最小化或避免在晶片插入和取出搬运器期间的颗粒产 生以及来自于在运输期间晶片在搬运器中的运动导致的颗粒产生。在规模经济的驱动下，在半导体制造厂(晶圆厂)中采用的晶片大小已不断增加。 当前存在大...
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