技术编号:7207005
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及磁电子器件的领域。在一个方面,本发明涉及用于感测磁场的 CMOS兼容的磁电子场传感器。背景技术在现代系统中广泛地使用传感器来测量或检测诸如位置、运动、力、加速度、温度、 压力等物理参数。尽管存在用于测量这些和其他参数的多种不同的传感器类型,但是它们 均受到各种限制。例如,诸如在电子罗盘和其他相似的磁感测应用中使用的廉价的低场传 感器通常包括基于各向异性磁阻(AMR)的器件。为了达到所需的灵敏度和与CMOS良好配 合的合理的电阻,这些传感器的感...
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